几名工人在进行圆晶切片的仔细清洗,这是第一步。
然后还要经过涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等多道工序。
圆晶切片就像一面薄薄的,非常光滑的镜子。光刻,就是将设计好的芯片电路结构光刻到圆晶切片上。
光刻好的圆晶切片,每一片能生产出数千计,甚至上万片的芯片,就像印刷一样,光刻好的圆晶切片就是印刷的模板,光刻就相当于排版。
工人们一丝不苟,非常谨慎的严格按照工艺要求操作着,清洗圆晶片,在圆晶片上涂光刻胶,对准曝光,烘干,显影等等……
当第一片光刻完的圆晶片被做出来之后,唐飞心中微微激动,心中想到,这应该是国内第一块吧。
孙旭和唐中华亲自认真的检查这块完成光刻的圆晶切片,两人用十分挑剔的眼光,找出了几处小缺陷。
于是,针对这些缺陷经过工艺参数上的完善,改进等,再接着又光刻第二片圆晶切片。
一连做了好几块之后,终于没有发现任何的缺陷,工艺也稳定了下来,操作光刻机的那几名工人也技术娴熟多了。
“老板,您来看一看,这片圆晶堪称完美,几乎没有任何的瑕疵。”唐中华对旁边的